Научно-исследовательский семинар: высоковакуумная техника и технология напыления тонких пленок

2024/2025

Учебный год

RUS

Обучение ведется на русском языке

3

Кредиты

Кто читает:

Базовая кафедра физики конденсированных сред Института физики твердого тела РАН

Статус:

Курс обязательный

Когда читается:

3-й курс, 1 модуль

Преподаватель

Ионов Андрей Михайлович

Программа дисциплины

Аннотация

Предметом изучения дисциплины являются современные методы получения, измерения и сохранения вакуума. В системе подготовки они должна занимать существенное место, т.к. вакуум является непременным условием функционирования современных физических приборов различного назначения и вакуумных технологических установок. Для изучения дисциплины необходимы знания математики, информатики, физики, физической химии в пределах программ естественно-научного цикла дисциплин.

Цель освоения дисциплины

• практическое знакомство с современной вакуумной техникой;
• формирование у студентов профессиональных компетенций и навыков, позволяющих формулировать, создавать и применять физические модели для решения практических задач;
• формирование навыков проведения измерения вакуума и навыка критического анализа полученных данных;
• получение практического навыка использования современных экспериментальных методов сбора и анализа данных;

Планируемые результаты обучения

• умеет решать задачи на данную тему
• пользоваться полученными знаниями для решения экспериментальных и теоретических задач в составе малой группы
• умеет делать качественные выводы при получении новых результатов исследований, производить оценки параметров и характеристик материалов

Содержание учебной дисциплины

• Изучение теории и техники получения тонких пленок металла методом вакуумного испарения, исследование зависимости толщины пленки от взаимного расположения подложки и испарителя; изучение на примере установки ВУП–4 широко используемых в физическом эксперименте многофункциональных вакуумных установок
• Конструктивные элементы вакуумных систем, конструирование и сборка вакуумного поста для для физических экспериментов.
• Масс-спектральный анализ вакуумных процессов. Принцип действия массспектрометров. Термообработка, обезгаживание и анализ газовыделения в вакууме.
• Получение и измерение безмасляного и сверхвысокого вакуума и вакуумные насосы
• Течеискание. Требования к герметичности вакуумных систем. Вакуумметрический, масс-спектральный методы течеискания

Элементы контроля

• Устный коллоквиум в формате ответа по вопросам лекций
• Еженедельная домашняя подготовка к лабораторной работе
• Экзамен

Промежуточная аттестация

• 2024/2025 1st module
  0.3 * Еженедельная домашняя подготовка к лабораторной работе + 0.2 * Устный коллоквиум в формате ответа по вопросам лекций + 0.5 * Экзамен

Список литературы

Рекомендуемая основная литература

• Конструирование и расчет вакуумных систем, Пипко, А. И., 1979
• Техника высокого вакуума, Грошковский, Я., 1975

Рекомендуемая дополнительная литература

• Введение в физику твердого тела, Киттель, Ч., 1978
• Техника сверхвысокого вакуума, Уэстон, Дж., 1988

Авторы

• Поварова Любовь Ивановна