We use cookies in order to improve the quality and usability of the HSE website. More information about the use of cookies is available here, and the regulations on processing personal data can be found here. By continuing to use the site, you hereby confirm that you have been informed of the use of cookies by the HSE website and agree with our rules for processing personal data. You may disable cookies in your browser settings.

  • A
  • A
  • A
  • ABC
  • ABC
  • ABC
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Regular version of the site

Technology of nanostructures

2024/2025
Academic Year
RUS
Instruction in Russian
6
ECTS credits
Delivered at:
Joint Department of Condensed Matter Physics with the Institute of Solid State Physics (RAS)
Course type:
Compulsory course
When:
1 year, 1, 2 module

Instructor


Федотова Яна Викторовна

Программа дисциплины

Аннотация

Настоящая дисциплина относится к вариативной части профессионального цикла дисциплин студентов, обучающихся на базовой кафедре «Физика конденсированных сред». В ходе лекционного курса происходит формирование у студентов профессиональных компетенций, связанных с использованием современных подходов к решению задач проектирования, изготовления и характеризации твердотельных наноструктур, развитие умений, основанных на проектировании, изготовления и характеризации твердотельных структур: фотолитография, электронная литография, жидкостное и плазменное травление, нанесение тонких пленок, микроскопия. Также студенты осваивают моделирование научных и прикладных технологических задач по созданию наноструктур, учатся критически оценивать применимость используемых методов, а также анализировать результаты, получаемые в ходе научно-исследовательской работы.
Цель освоения дисциплины

Цель освоения дисциплины

  • - формирование у студентов профессиональных компетенций в области физики конденсированных сред, приобретение студентами навыков самостоятельной работы;
  • - формирование подходов, основанных на полученных знаниях, позволяющих проводить научные исследования и анализировать полученные результаты;
  • развитие умений, позволяющих проектировать, изготовливать и давать характеристику твердотельным структурам: фотолитография, электронная литография, жидкостное и плазменное травление, нанесение тонких пленок, микроскопия;
Планируемые результаты обучения

Планируемые результаты обучения

  • Знание современных методов проектирования, моделирования и характеризации наноструктур. Умение применять полученные знания для научной работы в области физики конденсированных сред, критически анализировать исследования в области физики конденсированных сред, опубликованные в научных журналах и доложенные на международных конференциях
Содержание учебной дисциплины

Содержание учебной дисциплины

  • Введение в предмет. Слоистые структуры, объемные структуры на подложках, истинно-объемные структуры. Характеризация наноструктур
  • Типичные материалы для наноструктурирования. Жидкостное и плазменное травление материалов. Мягкие и жесткие маски.
  • Фотолитография и электронная литография
  • Нанесение тонких пленок. Формирование омических контактов.
Элементы контроля

Элементы контроля

  • неблокирующий Практическая работа
    В ходе практической работы необходимо на выданной студенту подложке подготовить структуру с заданными характеристиками, используя один из изученных в курсе методик.
  • неблокирующий Доклад
    Устный доклад подразумевает выполнение презентации по одному из частных вопросов темы текущей лекции длительностью не более 10 минут.
  • неблокирующий Экзамен
    Итоговый контроль - экзамен в конце 2-го модуля. Проводится устно в формате беседы по программе курса. Билет содержит 1 вопрос по материалам лекций и одну задачу.
Промежуточная аттестация

Промежуточная аттестация

  • 2024/2025 2nd module
    0.25 * Доклад + 0.25 * Практическая работа + 0.5 * Экзамен
Список литературы

Список литературы

Рекомендуемая основная литература

  • Róz, A. L. D., Ferreira, M., Leite, F. de L., & Oliveira, O. N. (2017). Nanostructures. Oxford, UK: Elsevier. Retrieved from http://search.ebscohost.com/login.aspx?direct=true&site=eds-live&db=edsebk&AN=1237260

Рекомендуемая дополнительная литература

  • Kaushik, B. K. (2019). Nanoscale Devices : Physics, Modeling, and Their Application. Boca Raton: CRC Press. Retrieved from http://search.ebscohost.com/login.aspx?direct=true&site=eds-live&db=edsebk&AN=1943964

Авторы

  • Федотова Яна Викторовна
  • Поварова Любовь Ивановна