Разработка микро-опто-электромеханического модулятора из нитрида кремния для криогенных применений

ФИО студента: Галанова Виктория Сергеевна

Кампус/факультет: Московский институт электроники и математики им. А.Н. Тихонова

Программа: Прикладная электроника и фотоника (Магистратура)

Год защиты: 2024

Дипломная работа 69 стр., 38 илл., 7 табл., 77 источников. ПЕРЕЧЕНЬ КЛЮЧЕВЫХ СЛОВ МИКРО-ОПТО-ЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЙ МОДУЛЯТОР, ФОТОННАЯ ИНТЕГРАЛЬНАЯ СХЕМА, АКТИВНЫЙ ОПТИЧЕСКИЙ КОМПОНЕНТ Объектом работы является микро-опто-электромеханический модулятор. Цель магистерской диссертации: разработка технологического процес-са изготовления микро-опто-электромеханического модулятора из нитрида кремния. Требуемая цель достигается путем разработки топологии фотонной интегральной схемы, технологического процесса и изготовления разработанного устройства по данному процессу. При выполнении работы были использованы следующие методы: - аналитический метод, используемый для обзора литературы последние 10 лет - метод численного моделирования, используемый для определения оптимальных параметров слотового волновода - технологический метод, используемый при изготовлении микро-опто-электромеханического резонатора, включая электронную литографию, вакуумное термическое испарение, плазмохимическое и жидкостное травление - экспериментальный метод, используемый для измерения спектров пропускания изготовленных структур Разработка технологического процесса изготовления микро-опто-электромеханического модулятора позволит использовать данный маршрут для реализации как модуляторов, так и для изготовления микрокольцевых резонаторов для применений, в которых требуется высокая чувствительность интегральных устройств.

Выпускные квалификационные работы (ВКР) в НИУ ВШЭ выполняют все студенты в соответствии с университетским Положением и Правилами, определенными каждой образовательной программой.

Аннотации всех ВКР в обязательном порядке публикуются в свободном доступе на корпоративном портале НИУ ВШЭ.

Полный текст ВКР размещается в свободном доступе на портале НИУ ВШЭ только при наличии согласия студента – автора (правообладателя) работы либо, в случае выполнения работы коллективом студентов, при наличии согласия всех соавторов (правообладателей) работы. ВКР после размещения на портале НИУ ВШЭ приобретает статус электронной публикации.

ВКР являются объектами авторских прав, на их использование распространяются ограничения, предусмотренные законодательством Российской Федерации об интеллектуальной собственности.

В случае использования ВКР, в том числе путем цитирования, указание имени автора и источника заимствования обязательно.

Реестр дипломов НИУ ВШЭ