Технология наноструктур

Магистратура 2023/2024

Статус: Курс обязательный (Физика)

Направление: 03.04.02. Физика

Кто читает: Базовая кафедра физики конденсированных сред Института физики твердого тела РАН

Где читается: Факультет физики

Когда читается: 1-й курс, 1, 2 модуль

Формат изучения: без онлайн-курса

Охват аудитории: для своего кампуса

Преподаватели: Федотова Яна Викторовна

Прогр. обучения: Физика

Язык: русский

Кредиты: 6

Контактные часы: 40

Полная версия программы учебной дисциплины

Аннотация

Настоящая дисциплина относится к вариативной части профессионального цикла дисциплин студентов, обучающихся на базовой кафедре «Физика конденсированных сред». В ходе лекционного курса происходит формирование у студентов профессиональных компетенций, связанных с использованием современных подходов к решению задач проектирования, изготовления и характеризации твердотельных наноструктур, развитие умений, основанных на проектировании, изготовления и характеризации твердотельных структур: фотолитография, электронная литография, жидкостное и плазменное травление, нанесение тонких пленок, микроскопия. Также студенты осваивают моделирование научных и прикладных технологических задач по созданию наноструктур, учатся критически оценивать применимость используемых методов, а также анализировать результаты, получаемые в ходе научно-исследовательской работы.

Цель освоения дисциплины

- формирование у студентов профессиональных компетенций в области физики конденсированных сред, приобретение студентами навыков самостоятельной работы;
- формирование подходов, основанных на полученных знаниях, позволяющих проводить научные исследования и анализировать полученные результаты;
развитие умений, позволяющих проектировать, изготовливать и давать характеристику твердотельным структурам: фотолитография, электронная литография, жидкостное и плазменное травление, нанесение тонких пленок, микроскопия;

Планируемые результаты обучения

Знание современных методов проектирования, моделирования и характеризации наноструктур. Умение применять полученные знания для научной работы в области физики конденсированных сред, критически анализировать исследования в области физики конденсированных сред, опубликованные в научных журналах и доложенные на международных конференциях

Содержание учебной дисциплины

Введение в предмет. Слоистые структуры, объемные структуры на подложках, истинно-объемные структуры. Характеризация наноструктур
Типичные материалы для наноструктурирования. Жидкостное и плазменное травление материалов. Мягкие и жесткие маски.
Фотолитография и электронная литография
Нанесение тонких пленок. Формирование омических контактов.

Элементы контроля

Экзамен
Итоговый контроль - экзамен в конце 2-го модуля. Проводится устно в формате беседы по программе курса. Билет содержит 1 вопрос по материалам лекций и одну задачу.
Практическая работа
В ходе практической работы необходимо на выданной студенту подложке подготовить структуру с заданными характеристиками, используя один из изученных в курсе методик.
Доклад
Устный доклад подразумевает выполнение презентации по одному из частных вопросов темы текущей лекции длительностью не более 10 минут.

Промежуточная аттестация

2023/2024 учебный год 2 модуль
0.25 * Доклад + 0.25 * Практическая работа + 0.5 * Экзамен

Список литературы

Авторы

Кобзарь Елена Николаевна
Завгородняя Ольга Ивановна
Поварова Любовь Ивановна

Программа дисциплины