Магистратура
2022/2023
Технология наноструктур
Лучший по критерию «Полезность курса для расширения кругозора и разностороннего развития»
Лучший по критерию «Новизна полученных знаний»
Статус:
Курс обязательный (Физика)
Направление:
03.04.02. Физика
Где читается:
Факультет физики
Когда читается:
1-й курс, 1, 2 модуль
Формат изучения:
без онлайн-курса
Охват аудитории:
для своего кампуса
Преподаватели:
Федотова Яна Викторовна
Прогр. обучения:
Физика
Язык:
русский
Кредиты:
6
Контактные часы:
40
Программа дисциплины
Аннотация
Настоящая дисциплина относится к вариативной части профессионального цикла дисциплин студентов, обучающихся на базовой кафедре «Физика конденсированных сред». В ходе лекционного курса происходит формирование у студентов профессиональных компетенций, связанных с использованием современных подходов к решению задач проектирования, изготовления и характеризации твердотельных наноструктур, развитие умений, основанных на проектировании, изготовления и характеризации твердотельных структур: фотолитография, электронная литография, жидкостное и плазменное травление, нанесение тонких пленок, микроскопия. Также студенты осваивают моделирование научных и прикладных технологических задач по созданию наноструктур, учатся критически оценивать применимость используемых методов, а также анализировать результаты, получаемые в ходе научно-исследовательской работы.
Цель освоения дисциплины
- - формирование у студентов профессиональных компетенций в области физики конденсированных сред, приобретение студентами навыков самостоятельной работы;
- - формирование подходов, основанных на полученных знаниях, позволяющих проводить научные исследования и анализировать полученные результаты;
- развитие умений, позволяющих проектировать, изготовливать и давать характеристику твердотельным структурам: фотолитография, электронная литография, жидкостное и плазменное травление, нанесение тонких пленок, микроскопия;
Планируемые результаты обучения
- Знание современных методов проектирования, моделирования и характеризации наноструктур. Умение применять полученные знания для научной работы в области физики конденсированных сред, критически анализировать исследования в области физики конденсированных сред, опубликованные в научных журналах и доложенные на международных конференциях
Содержание учебной дисциплины
- Введение в предмет. Слоистые структуры, объемные структуры на подложках, истинно-объемные структуры. Характеризация наноструктур
- Типичные материалы для наноструктурирования. Жидкостное и плазменное травление материалов. Мягкие и жесткие маски.
- Фотолитография и электронная литография
- Нанесение тонких пленок. Формирование омических контактов.
Элементы контроля
- ДокладУстный доклад подразумевает выполнение презентации по одному из частных вопросов темы текущей лекции длительностью не более 10 минут.
- Практическая работаВ ходе практической работы необходимо на выданной студенту подложке подготовить структуру с заданными характеристиками, используя один из изученных в курсе методик.
- ЭкзаменИтоговый контроль - экзамен в конце 2-го модуля. Проводится устно в формате беседы по программе курса. Билет содержит 1 вопрос по материалам лекций и одну задачу.
Промежуточная аттестация
- 2022/2023 учебный год 2 модуль0.5 * Экзамен + 0.25 * Практическая работа + 0.25 * Доклад
Список литературы
Рекомендуемая основная литература
- Róz, A. L. D., Ferreira, M., Leite, F. de L., & Oliveira, O. N. (2017). Nanostructures. Oxford, UK: Elsevier. Retrieved from http://search.ebscohost.com/login.aspx?direct=true&site=eds-live&db=edsebk&AN=1237260
Рекомендуемая дополнительная литература
- Kaushik, B. K. (2019). Nanoscale Devices : Physics, Modeling, and Their Application. Boca Raton: CRC Press. Retrieved from http://search.ebscohost.com/login.aspx?direct=true&site=eds-live&db=edsebk&AN=1943964