Магистратура 2024/2025

Технология полупроводниковых наногетероструктур

Статус: Курс обязательный (Физика)

Направление: 03.04.02. Физика

Кто читает: Департамент физики

Где читается: Школа информатики, физики и технологий

Когда читается: 2-й курс, 1, 2 модуль

Формат изучения: без онлайн-курса

Охват аудитории: для своего кампуса

Преподаватели: Жуков Алексей Евгеньевич

Прогр. обучения: Физика

Язык: русский

Кредиты: 6

Программа дисциплины

Аннотация

Дисциплина направлена на приобретение обучающимися знаний, умений и навыков в области исследования и разработки технологических процессов получения полупроводниковых приборов микро- и оптоэлектроники нового поколения на основе наногетероструктур соединений А3В5 и А2В6 с использованием современной эпитаксиальной технологии молекулярно-пучковой эпитаксии. Существенное внимание уделяется изучению физических закономерностей, определяющих свойства и поведение полупроводниковых соединений, применяемых в приборах и устройствах оптоэлектроники, во взаимосвязи с технологическими методами и условиями их получения. Курс направлен на формирование навыков проектирования технологического процесса получения гетероструктур с заданными свойствами, используя весь спектр известных в настоящее время полупроводниковых соединений А3В5 и А2В6.

Цель освоения дисциплины

• Приобретение обучающимися знаний, умений и навыков в области исследования и разработки технологических процессов получения полупроводниковых приборов микро- и оптоэлектроники

Планируемые результаты обучения

• Знает основы теории формирования новой фазы на поверхности твердого тела.
• Знает процессы кинетики роста тонких пленок.

Содержание учебной дисциплины

• Основы теории формирования новой фазы на поверхности твердого тела
• Кинетика роста тонких пленок
• Качественная картина ростового процесса в гетероэпитаксиальных системах
• Нитевидные нанокристаллы (нановискеры)

Элементы контроля

• Контрольная работа
• Устный экзамен
  Экзамен проверяет освоение учащимся материала курса, а также умение самостоятельно пользоваться полученными знаниями. Экзаменационный билет состоит из двух вопросов из списка вопросов к экзамену. После ответа на вопросы экзаменатор задаёт дополнительные вопросы и, в случае успешного ответа на них, задачу. Ответ на дополнительные вопросы не предполагает трудоёмких вычислений или длинных рассуждений и проверяет общее знание курса. На подготовку ответа выделяется 2,5 часа.

Промежуточная аттестация

• 2024/2025 2nd module
  0.5 * Контрольная работа + 0.5 * Устный экзамен

Список литературы

Рекомендуемая основная литература

• Антоненко, С. В. Технология наноструктур : учебное пособие / С. В. Антоненко. — Москва : НИЯУ МИФИ, 2008. — 116 с. — ISBN 978-5-7262-0947-0. — Текст : электронный // Лань : электронно-библиотечная система. — URL: https://e.lanbook.com/book/75885 (дата обращения: 00.00.0000). — Режим доступа: для авториз. пользователей.
• Капустин В.И., Сигов А.С. - Технология производства и контроль качества наноматериалов и наноструктур - НИЦ ИНФРА-М - 2019 - ISBN: 978-5-16-015278-3 - Текст электронный // ЭБС ZNANIUM - URL: https://znanium.com/catalog/document?id=363017

Рекомендуемая дополнительная литература

• Корабельников, Д. В. Физика наноструктур : учебное пособие / Д. В. Корабельников, Н. Г. Кравченко, А. С. Поплавной. — Кемерово : КемГУ, 2016. — 161 с. — ISBN 978-5-8353-2048-6. — Текст : электронный // Лань : электронно-библиотечная система. — URL: https://e.lanbook.com/book/92377 (дата обращения: 00.00.0000). — Режим доступа: для авториз. пользователей.

Авторы

• Журихина Валентина Владимировна